光學系統：漫反射型。
檢測距離：130正負15mm。
光束形狀：線光束。
光束直徑：600mm×70μm。
分辨率：3μm。
電纜長度：2m。ZFV-R5015傳感器頭：寬視野，
放大器單元：單一功能，
型號：PNP
通過智能傳感器與視覺技術的結合
來拓寬視野監測2波長的等離子發光量ZEN-BAT01怎么安裝。
實現了、小型化、低價格ZEN-BAT01
輕松實現蝕刻和清潔的端點的監測。
輕公地進行蝕刻、清潔的等離子發光的監測。
通過用過濾方式檢測2波長，實現小型化、低價格。分類：高靈敏度ZEN-BAT01怎么安裝。
接點間隔：H (0.25mm)。
驅動桿：面板安裝柱塞型，OP中。
端子的種類：螺絲端子。
以和豐富品種著稱暢銷的基本型開關。
斷路容量達15A，且精度高。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。內置開關：SPDT(AC)。
驅動桿：一般型，滾珠臂擺桿型。
導管/接地端子：G 1/2/無接地端子。
安裝：直角側面安裝。
具有高斷路容量和高耐用性的一般型封閉式開關。
Z一般型基礎開關內置到ZE、ZV和ZV2開關中。它們提供了高斷路容量和裝方法（側面、基座和直角側面）及許多類型的驅動桿ZEN-BAT01怎么安裝。
保護蓋取下后，內藏開關的端子在正面，易于連接。
帶接地端子的開關具有CE標志。
通過UL、CSA和CCC （中國標準）規格認證。 光學系統：漫反射型。
檢測距離：200正負50mm。
光束形狀：線光束。
光束直徑：900mm×100μm。
分辨率：5μm。
電纜長度：0.5m。空氣凈化單元。
適用：250mm。
電源規格：空氣凈化單元供電。
更薄、更大風量的ZN系列靈活、迅速地實現清潔化。
可根據清潔室的尺寸選用的3種尺寸。空氣凈化單元。
適用：410mm。
電源規格：空氣凈化單元供電。
更薄、更大風量的ZN系列靈活、迅速地實現清潔化。
可根據清潔室的尺寸選用的3種尺寸。ZX-LD40L光學方式:擴散方式，
光束形狀：線光束，
分辨率：2μm。
小巧的機身中裝載各種智能功能
備有各種激光型分類：防滴型，標準型。
接點間隔：G (0.5mm)。
防滴端子保護蓋：無。
驅動桿：面板安裝滾珠柱塞型。
端子的種類類：螺絲端子ZEN-BAT01用戶手冊。
以和豐富品種著稱暢銷的基本型開關。
斷路容量達155A，且精度高ZEN-BAT01用戶手冊。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。