晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式歐姆龍E2E-X1R5F1-M3-Z。
使用環保導線（無滑石粉）。小巧機體設計，顯示字體較大，即使在一段距離之外也能清晰讀數，
從而顯著降低了人工讀數出錯的風險E2E-X1R5F1-M3-Z
溫控器采用緊湊設計風格，
因此對控制柜內安裝空間的要求較低(60mm)，
即使安裝空間較為狹小，
亦可輕松快速地實現卡入式安裝。
同時融入了歐姆龍的PID控制專利，
使其溫度控制的性達到了新的標準，
其50ms的采樣周期也使溫度控制的迅捷性上升了一個臺階歐姆龍E2E-X1R5F1-M3-Z。端子部形狀:導線直出型。
保護管直徑D:φ1mm。
保護管長度L：15cm。
導線種類：耐熱用。
品種豐富的溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應品的基礎上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應部件歐姆龍E2E-X1R5F1-M3-Z。
可根據要測量的溫度、場所、 周圍環境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產品。
E3FA塑料外殼。
傳感器類型：BGS型(背景型)。
檢測距離：200mm。
連接方式：M12接插件。
輸出方式：PNP。種類：非屏蔽型。
形狀：φ6.5歐姆龍接近傳感器(標準型)。
檢測距離：2mm。
連接方式：導線引出型(2m)。
導線規格：PVC（耐油）。
動作模式：NO。
接線顏色/插針配置：褐：+V 黑：輸出；藍：0V。
輸出類型：PNP輸出。
小型接近傳感器，安裝異常“輕松”!
E2E 小徑型使用更方便。可減少設備從啟動到保養的安裝調整工時。
檢測距離以往的1.5倍定位調整“輕松”歐姆龍接近傳感器(標準型)。
為了實現穩定檢測，推薦檢測距離×0.7以內的設置。
指示燈4處位置調節“輕松”。
若使用專用安裝配件，設計也“輕松”。尺寸：48×48mm。
控制輸出1：電壓輸出(SSR驅動用)歐姆龍接近傳感器(標準型)。
控制輸出2：電壓輸出(SSR驅動用)。
輔助輸出：--。
電源電壓：AC/DC24V。
端子類型：螺釘端子臺型。
輸入類別：全量程多輸入。
加熱器斷線、SSR故障檢測功能：--。
通信：--。
事件輸入：--。
遠程SP輸入：--。
傳送輸出：--。
使用大字體PV顯示(白色)，提高可視性。
選擇、操作及設定簡便。
輸入輸出點數等的功能性能充實。
支持應用范圍更為廣泛。
采用高15.2mm的PV顯示(白色)，提高可視性。
實現50ms的高速采樣。
帶輔助輸出(大3點)、事件輸入(大4點點)、傳送輸出、
遠程SP輸入功能，支持各種應用程序E2E-X1R5F1-M3-Z。
E5CCC具有進深60mm的纖細機身歐姆龍E2E-X1R5F1-M3-Z。
使用通信轉換電纜(另售)與計算機相連
后，無需電源接線即可設定。
也可通過CX-Thermo(另售)輕松設定。
通過無程序通信輕松與PLC相連。
通過組件通信可聯合溫控器。