晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式歐姆龍E3S-AD12。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ONE3S-AD12
導(dǎo)線長：2m。檢測方式：對射型。
形狀：水平模式。
連接方式：導(dǎo)線引出型。
檢測距離：紅光7m。
輸出方式：PNP輸出。端子部形狀:端子露出型。
保護(hù)管直徑D:φ6.4mm。
元件種類：J（CA）。
保護(hù)管長度L：50cm歐姆龍E3S-AD12。
品種豐富的溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應(yīng)品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。尺寸：48×96mm。
控制輸出1：線性電流輸出歐姆龍E3S-AD12。
控制輸出2：繼電器輸出。
輔助輸出：2點(diǎn)。
通信：RS-485。
加熱器斷線：--。
事件輸入：2點(diǎn)。
電源電壓：AC/DC24V。
使用大字體PV顯示(白色)，提高可視性。
選型、設(shè)定及操作更為簡捷多組輸入/輸出，
功能齊全性能更強(qiáng)、功能更完善應(yīng)用更范圍更為廣泛。
E5EC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為18mm，
而E5AC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為25mm改進(jìn)了可視性歐姆龍放大器內(nèi)藏光電開關(guān)（中型）。
主體短小，厚度僅為60mm。
50ms高速采樣周期。
新型位置比例控制型號使您還可以控制閥門。尺寸：48×96mm。
控制輸出：繼電器輸出。
輔助輸出：2點(diǎn)。
通信：--。
加熱器斷線：--歐姆龍放大器內(nèi)藏光電開關(guān)（中型）。
事件輸入：--。
電源電壓：AC/DC24V。
使用大字體PV顯示(白色)，提高可視性。
選型、設(shè)定及操作更為簡捷多組輸入/輸出，
功能齊全性能更強(qiáng)、功能更完善應(yīng)用更范圍更為廣泛歐姆龍放大器內(nèi)藏光電開關(guān)（中型）。
E5EC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為18mm，
而E5AC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為25mm改進(jìn)了可視性。
主體短小，厚度僅為60mm。
50ms高速采樣周期。
新型位置比例控制型號使您還可以控制閥門。尺寸：48×96mm。
控制輸出1：電壓輸出。
控制輸出2：繼電器輸出。
輔助輸出：2點(diǎn)。
通信：RS-485。
加熱器斷線：1點(diǎn)。
事件輸入：2點(diǎn)。
電源電壓：AC100～240V。
使用大字體PV顯示(白色)，提高可視性。
選型、設(shè)定及操作更為簡捷多組輸入/輸出，

功能齊全性能更強(qiáng)、功能更完善應(yīng)用更范圍更為廣泛E3S-AD12。
E5EC-800的白光LCCD-PV顯示屏高度約為18mm，
而E5AC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為25mm改進(jìn)了可視性歐姆龍E3S-AD12。
主體短小，厚度僅為60mm。
50ms高速采樣周期。
新型位置比例控制型號使您還可以控制閥門。