品名：微粒測量型0.3μm/0.5μm/1.0μm或以上。
電源：DC電纜。
常時監視影響產品質量的灰塵和微粒。
適宜常時測量的緊湊設計。
搭載LAN端口等多種I/F歐姆龍Z-10FQY-B。
測量浮游的微粒。
1臺傳感器既可測量粗粒，又能調查塵源。同級高水準的真正除電。
利用傳感和可調AC方式實現高速細致的除電Z-10FQY-B
采用連接結構，保證大范圍均勻除電。
數字式離子顯示器，輕松準確設定。內置開關：SPDT(AC)。
驅動桿：一般型，滾珠柱塞型。
導管/接地端子：G 1/2/無接地端子。
安裝：直角側面安裝。
具有高斷路容量和高耐用性的一般型封閉式開關歐姆龍Z-10FQY-B。
Z一般型基礎開關內置到ZE、ZV和ZV2開關中。它們提供了高斷路容量和高耐用性。
帶磁吹的X基礎開關內置到XE、XV和XV2開關中。該系列還增加了DC型號。
提供了三種安裝方法（側面、基座和直角側面）及許多類型的驅動桿。
保護蓋取下后，內藏開關的端子在正面，易于連接歐姆龍Z-10FQY-B。
帶接地端子的開關具有CE標志。
通過UL、CSA和CCC （中國標準）規格認證。 分類：標準型。
接點間隔：G(0.5mm)。
驅動桿：短擺桿型。
端子的種類：焊接端子。
以和豐富品種著稱暢銷的基本型開關。
斷路容量達15A，且精度高。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種歐姆龍一般用基本微動開關。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。種類：工作站部。
品名：工作站部。
電源：電池/DC電纜。
測量生產線及裝置周邊的溫度、
濕度群的測量，搭載SD卡插口。
利用LAN端口連接，可簡單地建立監視系統歐姆龍一般用基本微動開關。
配備可將記錄數據簡單圖形化的PC軟件。
用環境可視化軟件 （可選件），
可實時以波形、平面圖的形式顯示檢測數據。監測2波長的等離子發光量。
實現了、小型化、低價格歐姆龍一般用基本微動開關。
輕松實現蝕刻和清潔的端點的監測。
輕公地進行蝕刻、清潔的等離子發光的監測。
通過用過濾方式檢測2波長，實現小型化、低價格。連接方法：接插件中繼型。
電纜長度：0.5m。
檢測距離：100正負35mm。
輸出方式：PNP輸出。
0.002mmm的分辨率，適合簡單測量Z-10FQY-B。
測量結果穩定，適用于任何類型的工件。
多種型號，，具有共四種不同距離規格歐姆龍Z-10FQY-B。
長距離型號，高可達1000mm。光學系統：正反射型。
檢測距離：25正負2mm。
光束形狀：線光束。
光束直徑：2.2mm×45μm。
分辨率：0.6μm。
電纜長度：2m。